קלטות פרוסות PFA/PTFE
קלטות פרוסות מפלואורופולימר עם עמידות כימית כמעט אוניברסלית לכימיקלי HF, פיראניה וניקוי RCA.
סקירה כללית
קלטות PFA (פרפלואורואלקוקסי) ו-PTFE (פוליטטרפלואוראתילן) מציעות את העמידות הכימית הרחבה ביותר מבין חומרי נשאי הפרוסות הזמינים — אינרטיות ל-HF מרוכז, HCl, H₂SO₄, H₂O₂, ולכימיקלי הניקוי SC1/SC2 המשמשים בתחנות ניקוי RCA ותקיפת פיראניה. במקום ש-PEEK מצטיין בטמפרטורה גבוהה, פלואורופולימרים מצטיינים באינרטיות כימית על פני טווח חסר תקדים של כימיקלי תהליך תוקפניים.
מעבר לאינרטיות כימית, PFA ו-PTFE מציעים רמות מתכת ניתנת למיצוי מתחת ל-1ppb — קריטי לתהליכי front-end רגישים לזיהום — ומשטח חלק ולא דביק הממזער הידבקות חלקיקים וזיהום צולב בין אצוות. GINECHIP מספקת קלטות PFA/PTFE באותן תצורות פתוחות, H-Bar ו-C-Bar כמו קו ה-PEEK שלנו, עבור קטרי פרוסות 100mm–300mm.
מפרטים טכניים
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Material | PFA (perfluoroalkoxy), PTFE (polytetrafluoroethylene) |
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Slot Capacity | 25 slots (standard), 13 slots, 50 slots, custom slot counts |
| Temperature Range | -200°C to +260°C (PFA) |
| Chemical Resistance | Inert to concentrated HF, HCl, H₂SO₄, H₂O₂, SC1/SC2 chemistries |
| Extractable Metals | < 1 ppb |
| Surface Characteristics | Smooth, non-stick — minimizes particle adhesion |
| Configuration | Open cassette, H-Bar, C-Bar, SMIF Pod, FOUP-compatible |
| Standards | SEMI E1, SEMI E15, SEMI E57, SEMI E158 |
יישומים
ניקוי RCA, תקיפת פיראניה, טבילת HF ותקיפת BOE — PFA ו-PTFE מתמודדים עם מגוון הכימיה הרטובה המלא של front-end ללא התדרדרות או דליפה.
טיפול בפרוסות לאחר CMP בסביבות שאריות רפש, שבהן המשטח הלא דביק והאינרטיות הכימית של PFA מונעים העברת חלקיקי רפש בין אצוות.
טיפול ב-front-end ובסמוך לתחמוצת שער, שבו רמות מתכת ניתנת למיצוי מתחת ל-1ppb מונעות זיהום מתכות עקבות בשכבות התקן קריטיות.
הדירוג של PFA מ--200°C עד +260°C תומך בתהליכים ייעודיים המשתרעים מטיפול בדגימות קריוגניות ועד דיפוזיה בטמפרטורה גבוהה באותו מפעל.
איכות והסמכה
כל קלטות ה-PFA/PTFE מיוצרות ואורזות תחת ניהול איכות המוסמך ISO 9001:2015, עם ספירת חלקיקים לפי IEST-RP-CC005 ואימות מידות מול SEMI E1/E15/E57. רמות מתכת ניתנת למיצוי מאומתות ב-ICP-MS לכל אצווה עבור יישומים קריטיים לזיהום.
זקוקים לקלטות PFA או PTFE?
ספרו לנו על כימיקלי התהליך וקוטר הפרוסה שלכם — הצוות שלנו יאשר תאימות ויספק הצעת מחיר מפורטת תוך 24 שעות.