קלטות פרוסות מ-PEEK
קלטות פרוסות מ-PEEK עמידות בטמפרטורה גבוהה ובכימיקלים, לטעינת תנורים, אמבטיות חומצה חמות ותהליכי דיפוזיה עד 260°C.
סקירה כללית
PEEK (פוליאתר-אתר-קטון) הוא הפלסטיק ההנדסי המוביל לקלטות פרוסות מוליכים למחצה הנדרשות לשרוד מחזורים חוזרים בשלבי התהליך החמים והתובעניים כימית ביותר במפעל. טמפרטורת שימוש רציף של 260°C הופכת את קלטות ה-PEEK לבחירה הסטנדרטית לטעינת תנורים, אמבטיות חומצה חמות ותהליכי דיפוזיה, שבהם פולימרים פחותים מתרככים, מתעקמים או פולטים גזים.
מעבר ליציבות התרמית, PEEK מציע חוזק מכני יוצא דופן ויציבות ממדית לאורך אלפי מחזורי חום, פליטת גזים מינימלית המתאימה לתהליכים סמוכים לוואקום, ובדרגות מלאות פחמן — התנגדות משטח של 10⁴–10⁹ Ω/sq להגנת ESD על תחמוצות שער רגישות. GINECHIP מספקת קלטות PEEK בתצורות פתוחות, H-Bar, C-Bar ותואמות SMIF/FOUP עבור גדלי פרוסות 100mm–300mm.
מפרטים טכניים
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Material | PEEK (polyetheretherketone), carbon-filled PEEK (ESD-safe grade) |
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Slot Capacity | 25 slots (standard), 13 slots, 50 slots, custom slot counts |
| Temperature Range | -40°C to +260°C continuous use |
| ESD Protection (carbon-filled) | 10⁴–10⁹ Ω/sq surface resistivity |
| Chemical Resistance | Excellent resistance to acids, bases, and organic solvents |
| Outgassing | < 0.1% TML, < 0.01% CVCM per ASTM E595 (space-grade available) |
| Configuration | Open cassette, H-Bar, C-Bar, SMIF Pod, FOUP-compatible |
| Standards | SEMI E1, SEMI E15, SEMI E57, SEMI E158 |
יישומים
טעינה ופריקה בטמפרטורה גבוהה עד 260°C ברציפות — PEEK נדרש במקומות שבהם פולימרים פחותים היו מתעוותים או פולטים זיהומים לצינור התנור.
ניקוי RCA, תקיפת פיראניה ואמבטיות חומצה חמות, שבהן העמידות המצוינת של PEEK בחומצות, בסיסים וממיסים אורגניים מונעת התדרדרות הקלטת ויצירת חלקיקים.
פרופיל פליטת גזים מינימלי (TML < 0.1% לפי ASTM E595) המתאים לטיפול בסמוך למנעולי טעינה ואזורי הכנה ל-CVD בלחץ נמוך.
דרגות PEEK מוגנות ESD מלאות פחמן (10⁴–10⁹ Ω/sq) מגנות על תחמוצות שער תת-2ננומטר במהלך שלבי תהליך בטמפרטורה גבוהה במפעלי CMOS מתקדמים.
איכות והסמכה
כל קלטת PEEK מיוצרת ואורזת תחת ניהול איכות המוסמך ISO 9001:2015, עם בדיקת פליטת גזים לפי ASTM E595, אימות מידות מול SEMI E1/E15/E57, ואימות ביצועי ESD לפי ANSI/ESD S20.20 במקרים הרלוונטיים. תעודת התאמה מצורפת לכל אצווה.
זקוקים לקלטות PEEK לתהליך שלכם?
ציינו את קוטר הפרוסה, מספר החריצים ודרישת ה-ESD — הצוות שלנו יאשר תאימות ויספק הצעת מחיר מפורטת תוך 24 שעות.