Кассеты для пластин из PEEK
Высокотемпературные, химически стойкие кассеты из PEEK для загрузки в печь, горячих кислотных ванн и диффузионных процессов при температуре до 260°C.
Обзор
PEEK (полиэфирэфиркетон) — это ведущий инженерный пластик для кассет полупроводниковых пластин, которые должны выдерживать многократные циклы в самых горячих и химически агрессивных этапах производства. Температура непрерывной эксплуатации 260°C делает кассеты из PEEK стандартным выбором для загрузки в печь, горячих кислотных ванн и диффузионных процессов, где другие полимеры размягчаются, деформируются или выделяют газы.
Помимо термостойкости, PEEK обладает исключительной механической прочностью и стабильностью размеров при тысячах термоциклов, минимальным газовыделением, подходящим для процессов вблизи вакуума, а в углеродонаполненных марках — поверхностным сопротивлением 10⁴–10⁹ Ом/кв для ESD-защиты чувствительных подзатворных оксидов. GINECHIP поставляет кассеты PEEK открытого типа, H-Bar, C-Bar и совместимые с SMIF/FOUP для пластин 100–300 мм.
Технические характеристики
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Material | PEEK (polyetheretherketone), carbon-filled PEEK (ESD-safe grade) |
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Slot Capacity | 25 slots (standard), 13 slots, 50 slots, custom slot counts |
| Temperature Range | -40°C to +260°C continuous use |
| ESD Protection (carbon-filled) | 10⁴–10⁹ Ω/sq surface resistivity |
| Chemical Resistance | Excellent resistance to acids, bases, and organic solvents |
| Outgassing | < 0.1% TML, < 0.01% CVCM per ASTM E595 (space-grade available) |
| Configuration | Open cassette, H-Bar, C-Bar, SMIF Pod, FOUP-compatible |
| Standards | SEMI E1, SEMI E15, SEMI E57, SEMI E158 |
Применения
Высокотемпературная загрузка и выгрузка при непрерывных 260°C — PEEK необходим там, где другие полимеры деформируются или выделяют загрязнения в трубу печи.
RCA-очистка, травление в пиранье и горячие кислотные ванны — превосходная стойкость PEEK к кислотам, щелочам и органическим растворителям предотвращает деградацию кассеты и образование частиц.
Минимальное газовыделение (TML < 0,1% по ASTM E595), подходит для обработки вблизи шлюзовых камер и зон подготовки для CVD низкого давления.
ESD-безопасные углеродонаполненные марки PEEK (10⁴–10⁹ Ом/кв) защищают подзатворные оксиды толщиной менее 2 нм на высокотемпературных этапах процесса в передовых КМОП-фабах.
Качество и сертификация
Каждая кассета PEEK изготавливается и упаковывается в соответствии с сертифицированной системой менеджмента качества ISO 9001:2015, с испытанием на газовыделение по ASTM E595, проверкой размеров по SEMI E1/E15/E57 и, при необходимости, проверкой ESD-характеристик по ANSI/ESD S20.20. Сертификат соответствия поставляется с каждой партией.
Нужны кассеты PEEK для вашего процесса?
Укажите диаметр пластины, количество слотов и требования по ESD — наша команда подтвердит совместимость и предоставит подробное коммерческое предложение в течение 24 часов.