Антистатические / ESD-безопасные кассеты из ПП
Экономичные ESD-безопасные полипропиленовые кассеты с классами сопротивления от статически рассеивающего до проводящего для транспортировки и хранения в чистых помещениях.
Обзор
Электростатический разряд — одна из основных причин повреждения приборов в передовом полупроводниковом производстве, особенно для подзатворных оксидов тоньше 2 нм на передовых логических узлах. Антистатические и ESD-безопасные полипропиленовые кассеты GINECHIP используют проводящее углеродное наполнение или антистатические добавки для контроля накопления заряда на трёх уровнях защиты: статически рассеивающий (10⁶–10⁹ Ом/кв) для контролируемого постепенного стекания заряда; проводящий (менее 10⁴ Ом/кв) для быстрого рассеивания, защищающего самые чувствительные приборы; и поверхностная антистатическая обработка для универсальных, чувствительных к стоимости применений.
Помимо ESD-характеристик, эти кассеты значительно легче металлических аналогов, снижая износ автоматизированных систем транспортировки материалов (AMHS) и утомляемость оператора при ручной обработке. Доступны с настраиваемым сопротивлением, чёрным или технологическим цветовым кодированием и конфигурациями от 13 до 50 слотов для пластин диаметром 150–300 мм.
Технические характеристики
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Material | Antistatic/ESD polypropylene (PP), carbon-loaded conductive PP |
| Wafer Diameter | 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Slot Capacity | 25 slots (standard), 13 slots, custom slot counts |
| Surface Resistivity | 10⁴–10¹¹ Ω/sq (customizable) |
| Static Decay | < 0.5 seconds per MIL-B-81705C |
| Protection Tiers | Static-dissipative (10⁶–10⁹ Ω/sq), Conductive (< 10⁴ Ω/sq), Topical anti-static |
| Color | Black (standard) or custom for process identification |
| Weight | 50% lighter than metal alternatives |
| Standards | SEMI E1, SEMI E15, SEMI E57, ANSI/ESD S20.20 |
Применения
Межбейное и внутрибейное транспортирование AMHS и хранение в стокерах, где легкий ESD-безопасный ПП снижает износ автоматизации по сравнению с металлом или PEEK.
Станции CD-SEM, анализа дефектов и измерения толщины плёнки, где ESD-безопасные кассеты с низким газовыделением и контролем частиц защищают чистоту измерительной камеры.
Повседневная обработка пластин в чистых помещениях класса 100 / ISO 5 и выше, где требуется экономичная ESD-защита без экстремальных химических или термических требований.
Кассеты проводящего класса (менее 10⁴ Ом/кв) для передовых КМОП-приборов с подзатворным оксидом менее 2 нм, которые не переносят никакого неконтролируемого статического разряда.
Качество и сертификация
Все ESD-безопасные кассеты из ПП изготавливаются в соответствии с сертифицированной системой менеджмента качества ISO 9001:2015, ESD-характеристики проверены по ANSI/ESD S20.20, статический разряд протестирован по MIL-B-81705C. Поверхностное сопротивление проверяется для каждой производственной партии, данные испытаний предоставляются по запросу.
Нужны ESD-безопасные кассеты из ПП?
Сообщите нам требуемое сопротивление и диаметр пластин — наша команда подтвердит совместимость и предоставит подробное коммерческое предложение в течение 24 часов.