Metall-Wafer-Frames
Präzisionsrahmen aus Edelstahl und Aluminium für die Produktionsvereinzelung, kompatibel mit K&S-, ESEC- und DISCO-Anlagen.
Übersicht
Metall-Wafer-Frames bilden das mechanische Rückgrat des Vereinzelungs- und Die-Attach-Prozesses und halten einen auf Folie montierten Wafer unter gleichmäßiger Spannung, während die Säge einzelne Dies vereinzelt. GINECHIP liefert Präzisionsrahmen aus Edelstahl (SUS304/SUS316) und Aluminium (6061-T6), gefertigt mit engen Ebenheitstoleranzen für gleichmäßige Folienspannung über den gesamten Rahmendurchmesser.
Jeder Rahmen ist in eloxiertem Aluminium für leichte Handhabung oder in passiviertem Edelstahl für maximale Haltbarkeit und Chemikalienbeständigkeit bei wiederholten Reinraumzyklen erhältlich. Einzel- und Doppelrahmenkonfigurationen (gestapelt) unterstützen sowohl Standard- als auch Dünnwafer-Vereinzelungsabläufe und sind vollständig kompatibel mit K&S-, ESEC- und DISCO-Plattformen.
Technische Spezifikationen
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Material | Stainless steel (SUS304, SUS316), Aluminum (6061-T6, anodized) |
| Wafer Compatibility | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Equipment Compatibility | K&S, ESEC, DISCO, Kulicke & Soffa dicing/die-bonding platforms |
| Thickness | 1.2mm–1.5mm (standard), custom on request |
| Surface Finish | Anodized (aluminum), passivated (stainless steel) |
| Configuration | Single-frame or dual-frame (stacked) designs |
| Flatness | < 0.1mm across frame plane |
| Standards | SEMI G74, SEMI G87 compatible geometries |
Anwendungen
Automatisierte Hochdurchsatz-Vereinzelungsprozesse, bei denen Rahmenebenheit die Die-Ausbeute direkt beeinflusst.
Auf Rahmen montierte Wafer, die zwischen Vereinzelungs-, Die-Attach- und Drahtbondstationen transportiert werden, benötigen maßstabile Rahmen für die Robotergenauigkeit.
Ausgelagerte Montage- und Testbetriebe mit gemischten Losgrößen profitieren von standardisierten, austauschbaren Rahmengeometrien.
Fabs mit Kostenoptimierungsprogrammen können Ersatzrahmen für ältere Ausrüstungsgenerationen beziehen, die von Originalherstellern nicht mehr unterstützt werden.
Qualität & Zertifizierung
Jeder Metall-Wafer-Frame wird unter einem nach ISO 9001:2015 zertifizierten Qualitätsmanagement gefertigt, mit Maßprüfung nach SEMI G74/G87 und 100%iger Ebenheitsprüfung vor dem Versand.
Benötigen Sie Metall-Wafer-Frames?
Geben Sie Waferdurchmesser, Vereinzelungsanlage und Rahmenmaterial an — unser Team bestätigt die Kompatibilität und erstellt innerhalb von 24 Stunden ein detailliertes Angebot.