金属ウェーハフレーム
生産ダイシング向け精密ステンレス鋼・アルミウェーハフレーム。K&S、ESEC、DISCO装置に対応。
概要
金属ウェーハフレームは、ダイシングおよびダイアタッチ工程の機械的基盤を成し、ダイシングソーが個々のダイを単片化する間、テープ実装されたウェーハを均一な張力で保持します。GINECHIPは、厳格な平坦度公差で機械加工された精密ステンレス鋼（SUS304/SUS316）およびアルミニウム（6061-T6）フレームを供給し、フレーム全径にわたり一貫したテープ張力を確保、テープのたるみによるダイの欠けやソーブレードの偏向を防止します。
各フレームは、軽量な取り扱いに適した陽極酸化アルミニウム、またはクリーンルームでの繰り返しサイクルにおける最大の耐久性と耐薬品性を備えた不動態化ステンレス鋼から選択できます。シングルフレームおよびデュアルフレーム（積層）構成は、標準および薄型ウェーハのダイシングワークフローの両方に対応し、K&S、ESEC、DISCOの自動ダイボンディング・ダイシングプラットフォームと完全互換です。
技術仕様
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Material | Stainless steel (SUS304, SUS316), Aluminum (6061-T6, anodized) |
| Wafer Compatibility | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Equipment Compatibility | K&S, ESEC, DISCO, Kulicke & Soffa dicing/die-bonding platforms |
| Thickness | 1.2mm–1.5mm (standard), custom on request |
| Surface Finish | Anodized (aluminum), passivated (stainless steel) |
| Configuration | Single-frame or dual-frame (stacked) designs |
| Flatness | < 0.1mm across frame plane |
| Standards | SEMI G74, SEMI G87 compatible geometries |
アプリケーション
フレームの平坦度と寸法再現性がダイ歩留まりと設備稼働率に直接影響する、高スループット自動ダイシング作業。
ダイシング、ダイアタッチ、ワイヤボンディングステーション間で搬送されるフレーム実装ウェーハには、ロボットピックアンドプレースの精度のため寸法安定性の高いフレームが必要です。
混合ロット量を扱う受託組立・テスト施設は、複数の顧客仕様にわたる標準化された互換性のあるフレーム形状の恩恵を受けます。
コスト最適化プログラムを実施するファブは、オリジナル機器ベンダーがサポートを終了したレガシー機器世代に適合する交換用フレームを調達できます。
品質と認証
すべての金属ウェーハフレームは、ISO 9001:2015認証の品質管理のもとで製造され、SEMI G74/G87形状基準に対する寸法検査および出荷前100%平坦度検証を実施しています。ロットトレーサビリティのため適合証明書を提供します。