금속 웨이퍼 프레임
K&S, ESEC 및 DISCO 장비용으로 설계된 생산 다이싱용 정밀 스테인레스 스틸 및 알루미늄 웨이퍼 프레임입니다.
개요
금속 웨이퍼 프레임은 다이싱 및 다이 부착 공정의 기계적 백본을 형성하며, 다이싱 톱이 개별 다이를 개별화하는 동안 테이프 장착 웨이퍼를 균일한 장력으로 유지합니다. GINECHIP은 엄격한 평탄도 공차로 가공된 정밀 스테인리스강(SUS304/SUS316) 및 알루미늄(6061-T6) 프레임을 공급하여 전체 프레임 직경에 걸쳐 일관된 테이프 장력을 보장하고 다이 치핑이나 톱날 휘어짐을 유발할 수 있는 테이프 처짐을 제거합니다.
모든 프레임은 경량 핸들링을 위해 양극산화 알루미늄으로 제공되거나 반복되는 클린룸 사이클링에서 최대의 내구성과 내화학성을 위해 부동태화 스테인리스 스틸로 제공됩니다. 단일 프레임 및 이중 프레임(스택) 구성은 표준 및 얇은 웨이퍼 다이싱 작업 흐름을 모두 지원하며 K&S, ESEC 및 DISCO 자동화 다이본딩 및 다이싱 플랫폼 전반에 걸쳐 완벽하게 호환됩니다.
기술 사양
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Material | Stainless steel (SUS304, SUS316), Aluminum (6061-T6, anodized) |
| Wafer Compatibility | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Equipment Compatibility | K&S, ESEC, DISCO, Kulicke & Soffa dicing/die-bonding platforms |
| Thickness | 1.2mm–1.5mm (standard), custom on request |
| Surface Finish | Anodized (aluminum), passivated (stainless steel) |
| Configuration | Single-frame or dual-frame (stacked) designs |
| Flatness | < 0.1mm across frame plane |
| Standards | SEMI G74, SEMI G87 compatible geometries |
응용
프레임 평탄도와 치수 반복성이 다이 수율과 장비 가동 시간에 직접적인 영향을 미치는 처리량이 많은 자동 다이싱 작업입니다.
다이싱, 다이 부착 및 와이어 본딩 스테이션 사이를 이동하는 프레임 장착 웨이퍼에는 로봇식 픽 앤 플레이스 정확성을 위해 치수가 안정적인 프레임이 필요합니다.
혼합 로트 볼륨을 실행하는 아웃소싱 조립 및 테스트 시설은 여러 고객 사양에 걸쳐 표준화되고 상호 교환 가능한 프레임 형상의 이점을 얻습니다.
비용 최적화 프로그램을 실행하는 제조공장은 기존 툴링 공급업체에서 더 이상 지원하지 않는 레거시 장비 세대와 일치하는 교체 프레임을 공급할 수 있습니다.
품질 및 인증
모든 금속 웨이퍼 프레임은 ISO 9001:2015 인증 품질 관리에 따라 제조되며, SEMI G74/G87 형상 참조에 대한 치수 검사와 배송 전 100% 평탄도 검증을 거칩니다. 로트 추적성을 위해 적합성 인증서가 제공됩니다.