플라스틱 웨이퍼 프레임
ESD 안전 전도성 등급을 갖춘 경량 PBT, PPS 및 PC 웨이퍼 프레임은 금속 등가물보다 50% 가볍습니다.
개요
플라스틱 웨이퍼 프레임은 극도의 강성이 기본 요구 사항이 아닌 핸들링 및 다이싱 작업을 위한 금속 프레임에 대한 가볍고 비용 효율적인 대안을 제공합니다. 엔지니어링 등급 PBT, PPS 또는 폴리카보네이트로 성형된 이 프레임은 수동 처리 스테이션에서 작업자의 피로를 줄이고 교대당 수천 개의 프레임을 순환하는 자동 자재 처리 시스템(AMHS)의 마모를 최소화합니다.
정전기 제어 클린룸 프로토콜과 직접 호환되는 ESD 안전 전도성 등급(10⁴~10⁹ Ω/sq) 또는 범용 사용을 위한 표준 절연 등급으로 제공됩니다. GINECHIP은 내부 제조 공정 순환을 위한 재사용 가능한 오토클레이브 허용 프레임과 일회용 아웃바운드 배송을 위한 경제적인 일회용 프레임을 모두 제공합니다. 모두 표준으로 검은색으로 성형되어 있으며 로트 또는 공정 단계 식별을 위해 맞춤 색상을 사용할 수 있습니다.
기술 사양
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Material | PBT (polybutylene terephthalate), PPS (polyphenylene sulfide), PC (polycarbonate) |
| Wafer Compatibility | 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| ESD Grade | ESD-safe conductive grades available on request |
| Color | Black (standard), custom colors for process/lot identification |
| Weight | 50% lighter than equivalent metal frames |
| Reusability | Reusable (cleanroom-washable) or single-use disposable options |
| Temperature Range | PBT/PC: up to 120°C; PPS: up to 200°C continuous |
| Standards | SEMI G74, SEMI G87 compatible geometries |
응용
프레임이 가벼워지면 대용량 수동 웨이퍼 이송 및 검사 작업 중에 작업자의 피로와 반복적인 긴장 위험이 줄어듭니다.
자동화된 자재 처리 시스템을 통해 매일 수천 개의 프레임을 순환하는 시설에서는 기계적 마모가 감소하고 교체 비용이 절감되는 이점이 있습니다.
전도성 플라스틱 프레임은 취급 중 정전기 손상에 취약한 고급 CMOS 및 MEMS 장치에 대해 제어된 정전기 방전을 제공합니다.
일회용 프레임 등급은 파운드리 고객이나 외부 포장 업체로 배송되는 웨이퍼의 반품 물류 비용을 없애줍니다.
품질 및 인증
모든 플라스틱 웨이퍼 프레임은 ISO 9001:2015 인증 품질 관리에 따라 사출 성형 및 검사됩니다. ESD 안전 등급의 표면 저항성은 모든 생산 배치에서 ANSI/ESD S20.20에 따라 검증되었으며, 배송별로 적합성 인증서가 발행되었습니다.