プラスチックウェーハフレーム
ESD対策導電グレード対応の軽量PBT、PPS、PCウェーハフレーム。金属フレーム比50%軽量。
概要
プラスチックウェーハフレームは、極度の剛性が主要要件でないハンドリング・ダイシング作業において、金属フレームの軽量で費用対効果の高い代替品を提供します。エンジニアリンググレードのPBT、PPS、またはポリカーボネートから成形されたこれらのフレームは、手動ハンドリングステーションでのオペレーター疲労を軽減し、シフトごとに数千のフレームを循環させる自動物流ハンドリングシステム（AMHS）の摩耗を最小限に抑えます。
静電気管理クリーンルームプロトコルとの直接互換性を持つESD対策導電グレード（10⁴～10⁹ Ω/sq）、または汎用向けの標準絶縁グレードでご提供します。GINECHIPは、ファブ内循環用の再利用可能でオートクレーブ耐性のあるフレームと、単回使用の外部出荷用経済的な使い捨てフレームの両方を提供しています。標準は黒成形で、ロットまたは工程識別用のカスタムカラーも利用可能です。
技術仕様
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Material | PBT (polybutylene terephthalate), PPS (polyphenylene sulfide), PC (polycarbonate) |
| Wafer Compatibility | 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| ESD Grade | ESD-safe conductive grades available on request |
| Color | Black (standard), custom colors for process/lot identification |
| Weight | 50% lighter than equivalent metal frames |
| Reusability | Reusable (cleanroom-washable) or single-use disposable options |
| Temperature Range | PBT/PC: up to 120°C; PPS: up to 200°C continuous |
| Standards | SEMI G74, SEMI G87 compatible geometries |
アプリケーション
高頻度の手動ウェーハ搬送・検査作業において、軽量フレームがオペレーターの疲労と反復性ストレス障害のリスクを軽減します。
自動物流ハンドリングシステムを通じて毎日数千のフレームを循環させる施設は、機械的摩耗の低減と交換コストの削減という恩恵を受けます。
導電性プラスチックフレームは、取り扱い中の静電気損傷に弱い先端CMOSおよびMEMSデバイスに対し、制御された静電放電を提供します。
使い捨てフレームグレードは、ファウンドリ顧客や外部パッケージング会社への出荷における返却物流コストを排除します。
品質と認証
すべてのプラスチックウェーハフレームは、ISO 9001:2015認証の品質管理のもとで射出成形・検査されています。ESD対策グレードの表面抵抗率は、生産バッチごとにANSI/ESD S20.20に基づき検証され、出荷ごとに適合証明書が発行されます。