ダイシングテープ
PVC、PO、PETベースフィルムのUV硬化・非UVダイシングテープ。制御された剥離強度でクリーンなダイ分離を実現。
概要
ダイシングテープは、完全なウェーハと最終的に単片化されたダイの間の機械的インターフェースです。フレームに実装されたテープは、ブレードまたはレーザーダイシング中にすべてのダイを確実に保持し、冷却液の浸入とブレードドラッグに抵抗しながら、ピックアップ時に接着剤残留やダイシフトなくクリーンに各ダイを解放する必要があります。GINECHIPは、UV露光下でアクリル接着剤が架橋し剥離強度を低下させてほぼゼロ力でのダイ解放を実現する<strong>UV硬化</strong>テープと、UV装置が利用できないまたは望ましくないプロセス向けの<strong>非UV感圧</strong>テープの両方を供給します。
PVC、ポリオレフィン（PO）、PETのベースフィルムは、特定のダイシングソーおよび拡張要件に合わせて選択されます。PVCはダイシング後のダイソーティングに優れた拡張性を提供し、POは優れた耐薬品性と低アウトガス性を実現し、PETはレーザーダイシングおよびステルスダイシングプロセスに最高の寸法安定性を提供します。50～1500 gf/25mmの範囲で制御された剥離強度は、繊細なMEMSダイから堅牢なパワーデバイス単片化まで対応します。
技術仕様
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Type | UV-curable, non-UV (thermal-release variants available) |
| Base Film | PVC, PO (polyolefin), PET |
| Adhesive System | Acrylic, synthetic rubber |
| Thickness | 80μm–150μm |
| Adhesion (Peel Strength) | 50–1500 gf/25mm, controlled per application |
| Wafer Compatibility | 100mm–300mm |
| UV Curing | Adhesion drops to < 10 gf/25mm after UV exposure for clean die pick |
| Standards | Compatible with DISCO, ADT, K&S dicing saws and die bonders |
アプリケーション
PETベースのテープは、先端ロジックおよびメモリウェーハのステルスダイシングおよびレーザー溝加工プロセスに寸法安定性を提供します。
優れた拡張性を持つPVCベーステープは、ダイシング後のダイ間隔を広げ、多品種組立ラインでの信頼性の高いロボットピックアップを実現します。
低粘着力UVテープは、繊細なMEMSおよび薄型ダイ構造に必要なピックアップ力を最小限に抑え、ダイの割れと歩留まり損失を軽減します。
高接着力POテープは、積極的なダイシング中に厚いパワーデバイスウェーハをずれや浮きなくしっかりと保持します。
品質と認証
すべてのダイシングテープロットは、ISO 9001:2015認証の品質管理のもとで剥離強度、UV硬化応答、寸法安定性が試験されます。ロットトレーサビリティ付き適合証明書を各出荷に提供します。